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• 全氟聚醚 PFPE：半导体设备 Chiller 温控的核心传热介质

  
  在半导体制造中，光刻、刻蚀、CVD（化学气相沉积）等核心制程对温控精度的要求高达**±0.1℃**。Chiller（冷却循环器）作为制程温控的关键设备，传热介质的选型直接决定芯片良率与设备长期运行稳定性。全氟聚醚（PFPE）凭借超宽液态温度区间、优异化学惰性与热稳定性能，成为半导体 Chiller 系统的优选传热介质。 2026-09-02 09:49:41